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微型壓力傳感器原理及運用

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人氣:-發表時間:2019-11-13 16:44【

  壓力傳感器是一種用于測量生活壓力的設備。該設備通常由壓敏元件和信號處理單元組成,可以根據一定的規則傳輸壓力信號,根據測量條件的不同,可以分為多種類型的壓力傳感器,其中微型壓力傳感器被廣泛使用,由于其體積小,可以進入很多地方,所以您知道微型壓力傳感器的原理是什么?在哪里使用?讓我們來看看!

微型壓力傳感器.jpg

  微型壓力傳感器的原理:


  當前的微型壓力傳感器包括硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器,兩者均基于硅片上微機械電子傳感器。


  硅壓阻式壓力傳感器采用高精度半導體電阻應變計構成電橋作為力電轉換測量電路,具有測量精度高,功耗低,成本極低的特點。電橋的壓阻傳感器,如果沒有壓力變化,其輸出為零,幾乎沒有功耗。


  微硅壓阻式壓力傳感器采用固定在外圍的圓形應力杯硅膜的內壁,并采用微技術直接在最大表面應力上刻制四個高精度半導體應變儀,以形成一個惠斯通電橋測量電橋作為力-電轉換測量電路,直接將壓力的物理量轉換為電,其測量精度可達到0.01-0.03%FS。


  電容式壓力傳感器使用微技術在硅芯片上形成水平屏障。上下水平柵欄成為一組電容式壓力傳感器。上部橫向勢壘在壓力下向下移動并發生變化。上部和下部水平柵格之間的距離也改變了板之間的電容,可就是壓力等于電容量。


  微型壓力傳感器的應用:


  微型壓力傳感器可以采用相似的集成電路設計技術和制造工藝,以高精度,低成本的大規模生產來生產,從而為消費類電子產品和工業生產提供過程控制產品以低成本使用大量微型壓力傳感器來打開方便的門,從而使壓力控制簡單,易用且智能。


  傳統的機械壓力傳感器基于金屬彈性體的力變形,從機械彈性變形到電氣轉換輸出,因此它不能像微型壓力傳感器那樣小到集成電路,而且成本也低廉,遠比微型壓力傳感器高。與傳統的機械量傳感器相比,微型壓力傳感器具有更小的尺寸,不超過一厘米。與傳統的機械制造技術相比,它的性價比大大提高。


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