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電容式壓力傳感器應用特點有哪些?

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人氣:-發表時間:2019-11-13 16:52【

  電容式壓力傳感器基于硅材料,采用電容原理,即利用電容變化將壓力轉換為電容變化,這是由MEMS技術制成的傳感器。電容式壓力傳感器的特點如下:

電容式壓力傳感器.png

  (1)高阻抗和低功率,因此所需的輸入力很小,輸入能量也很低。電容式傳感器的電極板之間的靜電吸引力很小(大約10-5N),因此所需的輸入能量非常小,因此特別適合解決低輸入能量的測量問題,例如測量極低的壓力和力。而且非常小的加速度,位移等,它可以做得非常靈敏,分辨率很高,并且可以感覺到0.001μm或更小的位移。


  (2)良好的溫度穩定性。傳感器的電容值通常與電極材料無關,這有利于選擇溫度系數低的材料,并且由于它產生的熱量很少,因此對穩定性的影響很小。


  (3)結構簡單,適應性強。測試對象可以是導體或半導體,并且可以在惡劣的環境中工作。電容傳感器結構簡單,易于制造,并且可以做得很小以實現某些特殊的測量;它可以在高溫和低溫,強輻射和強磁場等惡劣環境中工作,還可以測量磁性工件。


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